分析走査電子顕微鏡 / JSM-6010PLUS/LA

マルチタッチパネル走査電子顕微鏡 / JSM-6010PLUS/LA
- 日本電子社製:JSM-6010PLUS/LA
- 開放曜日:月~金 ※技師の配置は、金曜のみとなります。
- 開放時間帯:10:00〜16:00
- スペック:
分解能:3.0 nm(30 kV)、4 nm(20 kV)、15 nm(1 kV)
加速電圧:0.5 ~ 30 kV
倍率:×5 ~300,000
試料寸法:Φ150 mm - 機器の概要:
表面構造の観察や組成の分析などを行う装置で、電子線を照射し二次電子の強度から表面状態を観察(~数万倍)、反射電子より組成像、凹凸像の観察も可能です。
また、搭載されたエネルギー分散型X線分析装置(EDS)により、含有元素およびその組成比を特定し微小部の点分析や線分析、元素分布(面分析)などの分析が可能です。 - 設置場所:埼玉鳩山キャンパス11号館2階11205室
- 利用目的:研究活動および授業利用
- 利用方法:機器利用予約よりお申込みください。
- 取扱責任者:大越康晴(RE学系)