分析走査電子顕微鏡 / JSM-6010PLUS/LA
マルチタッチパネル走査電子顕微鏡 / JSM-6010PLUS/LA
- 日本電子社製：JSM-6010PLUS/LA
- 開放曜日：月～金 ※技師の配置は、金曜のみとなります。
- 開放時間帯：10:00〜16:00
- スペック：
分解能：3.0 nm（30 kV）、4 nm（20 kV）、15 nm（1 kV）
加速電圧：0.5 ～ 30 kV
倍率：×5 ～300,000
試料寸法：Φ150 mm - 機器の概要：
表面構造の観察や組成の分析などを行う装置で、電子線を照射し二次電子の強度から表面状態を観察（～数万倍）、反射電子より組成像、凹凸像の観察も可能です。
また、搭載されたエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により、含有元素およびその組成比を特定し微小部の点分析や線分析、元素分布（面分析）などの分析が可能です。 - 設置場所：埼玉鳩山キャンパス11号館2階11205室
- 利用目的：研究活動および授業利用
- 利用方法：機器利用予約よりお申込みください。
- 取扱責任者：大越康晴（RE学系）
