分析走査電子顕微鏡 / JSM-6010PLUS/LA

マルチタッチパネル走査電子顕微鏡 / JSM-6010PLUS/LA

  • 日本電子社製:JSM-6010PLUS/LA
  • 開放曜日:月~金 ※技師の配置は、金曜のみとなります。
  • 開放時間帯:10:00〜16:00
  • スペック:
    分解能:3.0 nm(30 kV)、4 nm(20 kV)、15 nm(1 kV)
    加速電圧:0.5 ~ 30 kV
    倍率:×5 ~300,000
    試料寸法:Φ150 mm
  • 機器の概要:
    表面構造の観察や組成の分析などを行う装置で、電子線を照射し二次電子の強度から表面状態を観察(~数万倍)、反射電子より組成像、凹凸像の観察も可能です。
    また、搭載されたエネルギー分散型X線分析装置(EDS)により、含有元素およびその組成比を特定し微小部の点分析や線分析、元素分布(面分析)などの分析が可能です。
  • 設置場所:埼玉鳩山キャンパス11号館2階11205室
  • 利用目的:研究活動および授業利用
  • 利用方法:利用申込フォームよりお申込みください。
  • 取扱責任者:大越康晴(RE学系)