走査型電子顕微鏡
JEOL JSM-6010PLUS/LA
| 開放曜日 | 月～金 |
| 開放時間 | 10:00～16:00 |
| 設置場所 | 埼玉鳩山キャンパス11号館2階11205室 |
| 利用目的 | 研究活動および授業利用 |
| 利用方法 | 予約システムより申込 |
| 取扱責任者 | 原田陽平（RM学系） |
表面構造の観察や組成の分析などを行う装置で、電子線を照射し二 次電子の強度から表面状態を観察（～数万倍）、反射電子より組成像、凹凸像の観察も可能です。
また、搭載されたエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により、含有元素およびその組成比を特定し微小部の点分析や線分析、元素分布（面分析）などの分析が可能です。
【スペック】
分解能：3.0 nm（30 kV）、4 nm（20 kV）、15 nm（1 kV）
加速電圧：0.5 ～ 30 kV
倍率：×5 ～300,000
試料寸法：Φ150 mm